東北大学 工学研究科 知能デバイス材料学専攻 小池研究室

 私たちの研究室では、異なる材料の界面や金属内部に存在する結晶界面をナノレベルで制御し、電子デバイスの熱的・力学的・電気的信頼性を向上するために材料学的な見地から研究を行っています。どんなに新しい機能を持つ材料が開発されても、それが実際に使われるためには様々な使用環境下において高い信頼性が要求されます。これらの要求を実現するために、企業と連携しながら常に時代をリードし応用を見据えた基礎研究を行っています。
 具体的には、半導体デバイスの配線・電極材料や新しいタイプのメモリ材料の開発を行っています。さらに、自動車・航空機用の軽量材料として注目されるMg合金の変形・破壊に関する研究や、切削工具に用いられる硬質膜の組織制御による高性能化に取り組んでいます。

・界面構造制御による超高速半導体デバイス材料の高信頼性化(→Click)
・化学気相蒸着法(CVD法)による半導体デバイス材料の高性能化
・多結晶マグネシウム合金における室温変形機構の解明(→Click)
SiCパワー半導体用電極材料に関する研究
・フレキシブル回路基板の基板/ポリイミド界面の研究
・相変化メモリ(PCRAM)用新規材料開発 
TiN系工具用コーティング膜の材料開発     
ナノ空間分解能を有する界面密着強度評価法の開発     
小池研究室 実験装置 一覧
研究内容